氦质谱检漏仪的工作原理

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　　检漏仪的应用通常在a686964616fe58685e5aeb检漏时容易遇到的问题漏率的计算，定义和单位检漏的方法氦检漏仪的检漏方式检漏时间

　　10.自动校准11.氦质谱检漏仪的选择12.检漏前的准备和检漏的注意事项13.Alcatel氦质谱检漏仪

　　之后，检漏变得越发重要，尤其：为了防止系统内介质漏到系统外（污染环境）或系统外介质漏到系统内（影响系统操作）；

　　检漏仪早期甚至有用到扩散泵作为高真空泵，但是缺点非常明显：1.2.油的返流造成污染（要加Trap）油加热装置的不稳定容易造成泄露率显示的不确定

　　采用分子泵则有点明显：1.2.无油，非常洁净的真空稳定的转速，非常利于在所能检测的最低值附近来确定泄露率的大小

　　2012-07-22·TA获得超过143个赞知道小有建树答主回答量：175采纳率：100%帮助的人：77.2万关注检漏仪主要的目bai的是检查一个真空腔du体各个密zhi封处是否dao有泄漏、漏气的地方。

　　在这内个密封腔体容内充满氦气，用质谱检漏仪在不腔体外，不同部位检测，如果密封存在问题，则有氦气泄漏，被质谱仪检测到。

　　质谱检漏仪是一种简易的质谱仪，对分辨率和检测的质量范围要求很低，但对灵敏度要求较高。

　　其实各个种类的质谱仪都可用来作为检漏质谱仪，只是出于成本和灵敏度的考虑，更多的用的是四极杆质谱检漏仪。最后D魂魄

　　推荐于2017-11-25·TA获得超过237个赞知道答主回答量：134采纳率：0%帮助的人：37万关注